北方华创正式推出 NMC612G 12 英寸金属刻蚀机

2020-06-29 11:09IT之家 (骑士)

IT之家6月29日消息 在 2020 年 SEMICON CHINA 展览会上,北方华创正式发布了 NMC612G 12 英寸金属刻蚀机。官方介绍,该设备具有优秀的刻蚀均匀性调节能力与良好的颗粒管控能力,可满足集成电路、功率半导体、硅基微显示等领域的金属刻蚀需求。

NMC612G 12 英寸金属刻蚀机是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机,具有多种均匀性控制手段,如电流分布控制技术、气体比例控制技术、静电卡盘温控技术等,为客户提供了多种均匀性调节选择,拓宽了工艺空间。其中,静电卡盘及传输系统不但适用于常规硅片的传输,也适用于不同领域的玻璃片、SOG 片等晶圆的传输及吸附,可多元化满足各领域多种需求。此外,针对刻蚀后残留气体导致的金属腐蚀问题,该设备采用微波去胶技术,利用 O2 产生等离子体,可以较高的速率实现不同金属刻蚀后 PR 掩膜的去除,并保证金属长期存放过程中不被腐蚀。

IT之家了解到,目前 NMC612G 金属刻蚀机已经成功进入集成电路、功率半导体、硅基微显示等领域的多家生产线,其良好的工艺性能和更低的拥有成本,正在助力客户大规模量产。

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