我国首次建立纳米级角度国家一级标准物质

IT之家 10 月 8 日消息，国家市场监督管理总局今日发布消息，市场监管总局新批准二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质、一维硅纳米光栅标准物质 3 项国家一级标准物质，能够同时满足纳米制造产业角度和长度校准需求，为新一代信息技术、新材料、生物制造、高端装备等领域的纳米制造提供精准“标尺”。

国家市场监督管理总局计量司介绍称，研制高精度的纳米级标准物质，是打造高准确度纳米测量传递链，提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。

标准物质研制单位同济大学相关专家表示，二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术，制备难度较大，可直接溯源到自然界量子化物理常数（铬原子跃迁频率），角度绝对准确性在 0.001° 量级，相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。

二维铬纳米栅格的结构面积一般为 300μm×300μm，在没有划伤或破坏的状况下，每次使用 2μm×2μm，不重复使用测量区域次数可达 20000 次以上。可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准，也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。

国家市场监督管理总局表示，纳米级角度标准物质的研制成功，实现了纳米测量领域的扁平化计量，避免传统逐级量值传递方式造成的误差累积放大，能够通过在线校准直接将高精度计量数据直接传递到企业计量现场，为我国纳米制造产业高质量发展提供有力支撑。

下一步，市场监管总局将持续强化纳米测量领域标准物质研制应用，进一步解决纳米制造“测不了、测不全、测不准”问题。

IT之家从公开资料获悉，国家市场监督管理总局计量司，承担国家计量基准、计量标准、计量标准物质和计量器具管理工作，组织量值传递溯源和计量比对工作；承担国家计量技术规范体系建立及组织实施工作；承担商品量、市场计量行为、计量仲裁检定和计量技术机构及人员监督管理工作；规范计量数据使用。

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