财报还显示,Q2季度ASML出货了4台EUV光刻机,在ASML公司27.4亿欧元的营收中,设备净销售额为20.86亿欧元,其中EUV光刻机占了32%的比例,主流的ArF沉浸式光刻机占了49%。
AMSL预计全年出货EUV光刻机超过20台,2019年预计出货超过30台。值得一提的是,中国的中芯国际今年也订购了一台EUV光刻机,主要用于7nm工艺研究,预计在2019年初交付。
光刻机是半导体芯片生产中最重要的设备之一,荷兰ASML公司已经垄断全球光刻机市场。
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