三星的5LPE技术依赖于具有新标准单元架构的FinFET晶体管,并使用DUV和EUV步进扫描系统。与7LPP相比,新技术的“逻辑效率”提高了25%,芯片开发人员可将芯片设计的功耗降低20%或将性能提高10%。
由三星认证的Candence和Synopsys的工具集包括编译器、验证器、电源电路优化器以及EUV专用工具。
由于三星的5LPE比其7LPP工艺使用更多的EUV层,因此预计它将用于三星华城的EUV工厂。该生产线将耗资6万亿韩元(46.15亿美元),预计将于2019年完工,并于2020年开始大批量生产。
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