目标 2029 年不依赖 EUV 光刻机实现等效 5nm 的全国产方案，国内首条二维半导体工程化示范工艺线全线贯通
07月10日 0评
曝全球科技巨头争相向 SK 海力士抛橄榄枝，出资协助新建产线、采购 EUV 光刻机
05月08日 0评
SK 海力士拟斥资 11.95 万亿韩元采购 ASML 韩国 EUV 光刻机
03月24日 0评
三星电子美国泰勒晶圆厂 3 月测试 EUV 光刻机，加速部署 2nm GAA 工艺
01月19日 0评
台积电将于 2024 年取得高 NA EUV 光刻机，有助于 2nm 工艺量产
2022.09.16 0评
