韩企 SK Materials 量产氟化氢,推进半导体材料国产化

2020-06-18 14:59TechWeb (宋星)

6月18日消息,据国外媒体报道,韩国企业SK Materials日前表示,已启动用于半导体生产工序的氟化氢气体的量产。

▲韩企SK Materials

氟化氢被用于晶圆的清洗等方面。在高纯度的氟化氢市场,日本厂商大约占据8至9成份额。

SK Materials已在韩国东部的荣州市的工厂启动量产。该公司表示,实现量产的氟化氢气体达到被称为“5个9”的纯度,即99.999%,不过品质仍低于日本厂商产品。

SK Materials还透露,三星电子和SK海力士将采用公司产品。

SK Materials生产销售半导体, 显示器, 太阳能电池等领域的核心材料, 并提供相关配套服务, 从而致力于物联网、大数据、无人驾驶等未来信息技术 (IT) 产业的发展。

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