将芯片节点缩小至 1nm 以下：彭博社对话 IMEC CEO

近日，比利时微电子研究中心（IMEC）发布了 1nm 工艺下金属互连的新方法，解决了 1nm 节点互连发热问题。

事实上，IMEC 已经成为了全球半导体生态中的重要一环，在先进制程工艺的开发中有着举足轻重的地位，和美国英特尔、IBM 并称微电子领域“3I”。

而随着全球开始关注半导体问题，IMEC 由于其重要性也受到了越来越多的关注。在上个月白宫对美国供应链的评估中，IMEC 和荷兰光刻机厂商 ASML 一并出现在了报告中。用一位业内人士的话说，IMEC 是一个很少有人知道，但是每个人都应该知道的地方。

彭博社也对 IMEC 的首席执行官 Luc Van den hove 进行了采访，以下是芯东西在不改变原意前提下进行的编译。

▲ IMEC 首席执行官 Luc Van den hove（来源：彭博社）

一、中试线工艺超 5nm 2-3 代，价值超 25 亿欧元

1984 年，几位比利时的大学教授向比利时弗拉芒大区政府提议，建设一个微电子研究中心，解决高校科研和产业脱节的问题。

弗拉芒大区政府很快就同意了这一建议，投入了价值 6200 万欧元的比利时法郎，建立了 IMEC。一开始，IMEC 的资金大多由政府提供。

很快，IMEC 设计出一种新的合作模式，也就是 IMEC 工业联盟项目（IIAP）。在这样的合作模式下，厂商需要向 IMEC 提供入会费和年费。入会后，厂商就可以与 IMEC 合作开发技术。项目中，IMEC 掌握研发决策权与各方信息，但是各家厂商也可以向 IMEC 提出自己的质疑，纠正其决策错误。

而在 IMEC 和英特尔、台积电、三星电子、应用材料等 IC 供应链巨头达成了合作关系后，政府拨款占比逐步降低。如今，IMEC 75% 的资金来自于这些 IC 供应链厂商，有超过 4500 名员工，是全球最重要的微电子研究机构之一。

因为有了众多厂商的参与与资金支持，IMEC 拥有 1 条 200mm（8 英寸）和 1 条 300mm（12 英寸）晶圆中试线。其中 300mm 中试线配备有 EUV 光刻机等最先进的设备，价值 25 亿欧元（约合 30 亿美元，210 亿人民币），比台积电、三星电子量产的 5nm 工艺领先 2 到 3 代，让 IMEC 的研究人员可以研究 2nm 及以下的节点工艺。

今年 5 月份，英特尔首席执行官 Pat Gelsinger 评价 IMEC 和 ASML 是欧洲的 2 颗宝石。

▲ IMEC 洁净室中有着应用材料、泛林半导体、ASM、ASML 等最先进的半导体设备（来源：IMEC）

二、专注芯片节点演进，曾联手华为、中芯国际、高通研发先进制程

近年来，随着芯片制程工艺的不断发展，摩尔定律正在逐渐失效。很多国家都在研发氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）、氧化锌（ZnO）和金刚石等宽禁带半导体。

IMEC 的首席执行官 Luc Van den hove 则认为，这类半导体的市场有限：“我们相信硅是完美的平台。”而 IMEC 会继续将芯片节点缩小到 1nm 以下。

对于芯片技术的前景，Luc Van den hove 则认为这将为很多行业带来发展。此外，IMEC 在人工智能、物联网、生命科学等领域也有着较强的研发实力。Luc Van den hove 谈到生命科学中的一些应用将会在 5 年内带来“巨大的繁荣”，通过结合这些前沿技术，人们可以做到一些非凡的事情。

IMEC 此前也与中国公司、机构进行过一系列合作。2015 年，IMEC 与中芯国际、华为、高通四家公司宣布共同投资中芯国际集成电路新技术研发（上海）有限公司，开发下一代 CMOS 逻辑工艺；今年 2 月，IMEC 还成为了无锡半导体行业协会的会员单位。

▲ IMEC 洁净室（来源：彭博社）

三、受美国重点关注，IMEC CEO 称需保持冷静

IMEC 强大的研发能力也吸引了美国的注意。

新美国安全中心（Center for a New American security）技术和国家安全项目主任 Martijn Rasser 称，在美国政府与欧盟所建立的科技联盟中，IMEC 可能会是其中的重点。

美国中情局（CIA）的前技术和创新工作人员也提到，由于 IMEC，其所在的比利时鲁汶成为了政治人士和行业所关注的中心。

▲ 从 IMEC 大楼看鲁汶市区（来源：彭博社）

Luc Van den hove 就此事透露，IMEC 正在就此事进行讨论。因为 IMEC 渴望“以积极的方式推动行业发展，所以无论 IMEC 能够做什么来支持（行业发展），都会接受这些讨论”。

不过这也引发了一些技术上的盗窃行为。Luc Van den hove 称，IMEC 遇到过一些员工不按照其行为准则和价值观行事的案件。他补充道，这样的现象并不局限于任何一个国家。

Luc Van den hove 提到，IMEC 当前研究能力并没有因为政治压力而受到损害，“但是我们也必须面对现实，接受地缘政治紧张局势正在加剧的事实。”

虽然如此，Luc Van den hove 说，各类前沿技术仍将带来巨大的机会，保持冷静非常重要。

▲ Luc Van den hove 手持晶圆（来源：彭博社）

结语：IMEC 成功关键在于合作、中立

IMEC 作为半导体制程的重要参与者，其成功的原因之一就是开放、中立的国际合作模式。在这样的模式下，IMEC 推动整个半导体行业的发展，也汇聚了包括中国在内的全球各国技术人才。

而在当前较为紧张的地缘政治下，美国等对其所施加的政治压力，如果影响到了其中立的立场，或许将会动摇 IMEC 立身之本。

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