国产光刻机第一股：华卓精科科创板过会，与清华共享专利

芯东西 9 月 17 日报道，今天，北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科“）于科创板成功过会。

华卓精科主营业务为超精密测控设备，产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘、晶圆级键合设备、激光退火设备等，主要应用于集成电路制造、超精密制造、光学、医疗等行业。

光刻机工件台是光刻机的 3 大核心部件之一，华卓精科是国内首家自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业，也是国内光刻机龙头上海微电子的供应商。

目前，华卓精科的 DWS 系列双工件台可用于 65nm 及以上节点的 I-line、KrF 和 ArF 干式光刻机，但尚未通过上海微电子的验收。

今年 7 月 29 日，华卓精科的上市委会议结果为暂缓审议，上市委现场询问了有关其光刻机双工件台的产业化前景、其技术研发是否依赖清华大学、以及 2019 年和 2020 年第四季度的大额销售收入等事项。

报告期内，华卓精科营收呈递增趋势，2018 年、2019 年、2020 年其营收分别为 8570 万元、1.21 亿元和 1.52 亿元。

本轮 IPO，华卓精科计划募资 7.35 亿元，将用于半导体装备关键零部件研发制造、超精密测控产品长三角创新与研发中心、集成电路装备与零部件产品创新项目、光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发 4 个项目。

▲ 华卓精科募集资金用途

华卓精科的董事、核心技术人员、首席科学家朱煜为公司的控股股东和实际控制人，其实际控制股份比例为 54.23%。上会稿显示，朱煜为清华大学长聘教授，华卓精科的一众高管也都有清华背景。

▲ 华卓精科股权结构

01. 营收持续增长，超精密测控装备为主要收入来源

根据上会稿，华卓精科在报告期内营收持续增长，且增速较快。华卓精科 2018 年-2020 年各期营收分别为 8570.92 万元、1.21 亿元和 1.52 亿元。其 2019 年营收增幅达 41.14%，2020 年营收增幅则为 25.94%。

净利润方面，华卓精科 2018 年、2019 年、2020 年净利分别为 1512.36 万元、2087.24 万元和 1242.83 万元。

上会稿称，华卓精科其营收增速较快主要是因为下游终端市场需求旺盛以及半导体设备国产替代趋势的影响。2020 年，华卓精科净利润下降较多，则由于其管理费用、贷款利息、计提预计信用损失大幅增加。

▲ 华卓精科 2018 年-2020 年营收与净利润变化

具体来说，华卓精科的营收组成可分为超精密测控装备部件、超精密测控装备整机与其他 3 类。

其中，超精密测控装备部件主要为精密运动系统及技术开发、光刻机双工件台模块及技术开发、经典卡盘及技术开发和隔振器 4 类；超精密测控装备整机则可以分为晶圆级键合设备及技术开发与激光退火设备。

华卓精科的主要收入来源为精密运动系统及技术开发，在报告期内其业务营收组成比例波动较大。2020 年光刻机双工件台收入占其总营收的 11.42%，在 2019 年该项收入则为 0。

上会稿称，光刻机双工件台技术开发难度较大。2019 年，上海微电子作为国内唯一的光刻机整机厂商未完成对合同内容验收，因此华卓精科该业务收入为 0。

▲ 2018 年-2020 年华卓精科各业务收入占比变化

从客户情况来说，华卓精科主要客户为半导体等领域的企业，高校客户收入占比较低。中科飞测、上海微电子在报告期内一直为华卓精科的前五大客户。

2018 年-2020 年，华卓精科向前五大客户的销售收入占主营业务收入比例分别为 50.23%、53.57% 及 58.03%。虽然前五大客户的销售占比不高，但上海微电子是国内唯一的光刻机整机厂商，所以一定程度上华卓精科光刻机双工件台的商业化前景取决于上海微电子的光刻机整机销售情况。

▲ 华卓精科报告期内前五大客户

在原材料采购方面，华卓精科所需原材料主要可分为基础材料、电气类、机械类和光学类。2020 年，华卓精科对机械类和电气类原材料采购金额较高，占比合计达 76.39%。

2018 年-2020 年华卓精科向前五大供应商合计采购金额占比分别为 37.69%、29.41% 及 20.63%，呈下降趋势。翟柯莱姆达、Zygo Corporation 和山东鑫磊精密机械有限公司在 2019 年和 2020 年是华卓精科的前五大供应商。

▲ 华卓精科报告期内前五大供应商

02. 产品填补多项国产空白，光刻机双工件台存在制程差距

对光刻机市场来说，主要厂商有荷兰 ASML 和日本尼康、佳能和中国上海微电子 4 家。

尼康和佳能主要采用“In House”生产模式，即光刻机的主要子系统均由整机厂研发和生产。ASML 早期采用“Out House”生产模式，即仅负责整机的设计和子系统的需求定义，子系统由第三方厂商进行生产。2010 年后，ASML 也开始自行设计工件台。

上会稿指出，无论上述整机厂商采取何种研发、生产模式，其工件台均不单独对外销售。这也意味着华卓精科对于光刻机的国产化替代较为重要。

和 ASML 所使用的光刻机双工件台对比，华卓精科的 DWS 系列产品和 ASML 的干式深紫外（DUV）光刻机双工件台处于同一架构，但性能有所落后；华卓精科的浸没式 DWSi 系列产品尚未完成研发；在极紫外（EUV）领域，华卓精科并未推出产品。

截至最新的上会稿签署，华卓精科 DWS 系列光刻机双工件台累计发货 4 台，仍处于与上海微电子光刻机整机集成、测试阶段，尚未通过上海微电子的最终验收。

▲ 华卓精科光刻机双工件台与 ASML 所用工件台对比

此外，在精密运动系统、晶圆级键合设备、激光退火设备、静电卡盘等不同的市场，华卓精科还需要面对不同的国内外竞争对手。这些对手既有 Aerotech、应用材料、泛林半导体、东京电子、住友重工等国外巨头，也有中微公司、长川科技、北方华创等国内半导体设备厂商。

相对来说，华卓精科存在融资渠道单一、品牌知名度较低、客户资源较为劣势等差距。此外，华卓精科的晶圆级键合设备、激光退火设备等仍处于小批量定制生产阶段，未实现规模化量产，其光刻机双工件台也尚未通过下游客户验收。在产线丰富度和产品性能上，华卓精科同样和行业龙头存在差距。

▲ 华卓精科产品业务与行业龙头差距以及产品量产情况

尽管华卓精科的产品和行业龙头相比存在不少差距，但是由于该公司较为丰富的技术积累，其产品填补了多项国内空白，促进了半导体制造设备和核心部件的国产替代进程。

截至 2021 年 6 月 30 日，华卓精科共拥有 198 项专利以及 1 项专利独占权，其中包括发明专利 148 项、实用新型 43 项、外观设计 2 项、美国专利 5 项。

因为朱煜是清华大学的长聘教授，华卓精科与清华大学存在较为密切的技术交流、合作。上会稿写道，华卓精科承接了清华大学原发技术积累，并在报告期内委托清华大学进行了 65nm 双工件台关键技术测试开发项目。

华卓精科与清华大学作为共同专利权人拥有的专利共计 162 项，其中协议转让方式获取的专利 115 项、委托开发方式获取的专利 30 项、合作研发方式获取的专利 17 项，清华大学授权华卓精科独占实施许可的专利 1 项。

▲ 华卓精科和清华大学共有专利、专利实施许可、技术转让情况

03. 研发团队占比超 30%，2 名核心技术人员系清华兼职

华卓精科研发人员共有 133 人，占员工总数比例为 33.08%。核心技术人员共有 7 人，分别为朱煜、张鸣、杨鹏远、陈静、张利、张豹和刘效岩，其中朱煜和张鸣为华卓精科原有核心技术人员。

朱煜 2001 年于中国矿业大学获机械设计及理论专业博士学位。毕业后，朱煜曾先后于中国矿业大学和清华大学从事教学和博士后工作。2004 年 10 月至今，朱煜为清华大学教授，也是科技部重点领域创新团队负责人及国家 02 科技重大专项技术副总师。此外，朱煜在全球拥有授权专利 227 项，其中发明专利 173 项；他还发表了 200 余篇论文，出版专著 2 本。

2007 年和 2016 年，朱煜曾在北京七星华创电子和北方华创任独立董事；2012 年 5 月至 2015 年 7 月，他任华卓有限董事长兼总经理；2015 年 8 月至 2015 年 9 月，朱煜为华卓精科董事长；2015 年 9 月至今，他担任华卓精科董事、首席科学家。值得一提的是，朱煜也是国产 CMP 厂商华海清科的股东，拥有华海清科 4.98% 的股份。

▲ 华卓精科董事、首席科学家朱煜

张明 2005 年于清华大学获机械工程专业博士学位。1999 年 3 月至 2000 年 7 月，他在中国运载火箭技术研究院任助理工程师；2005 年 7 月，张鸣在清华大学任博士后、助理研究员、副研究员等职。2017 年 8 月，张鸣任华卓精科技术顾问；2018 年 2 月起，他开始担任华卓精科董事。

张鸣曾参与过国家重大专项、973 计划、863 计划等 6 项国家级项目，发表论文 66 篇，其中 SCI 期刊收录 17 篇。目前，张鸣拥有国家授权专利 164 项，其中发明专利 147 项。

当前朱煜、张鸣已取得清华大学兼职批复，作为兼职人员在华卓精科任职。两人也承诺，如果华卓精科顺利上市，其将继续向清华大学办理兼职批复，继续从事兼职工作；如果未能取得清华大学同意兼职的批复，则将从清华大学办理离职手续并全职在华卓精科工作。

▲ 华卓精科部分技术人员在清华大学任职情况

04. 朱煜实际控股比例过半

根据上会稿，朱煜直接持有华卓精科 35.72% 的股份，他还通过艾西科技和艾西博锐持有 5.45% 的股份。而华卓精科的徐登峰、张鸣、杨开明、尹文生、胡金春、穆海华、成荣 7 名股东合计持有 13.06% 的公司股份，并于与朱煜保持一致行动关系。所以朱煜实际控制的股份比例为 54.23%，是华卓精科的实际控制人和控股股东。

此外，持有华卓精科股份比例超过 5% 的股东还有水木愿景和水木长风两家公司，持股比例分别为 8.75% 和 6.78%。华卓精科董事长吴勇为水木愿景、水木长风和吴勇本人推荐担任。

▲ 华卓精科股东名单

05. 结语：产学合作填补空白，需要面对多领域巨头竞争

与此前过会的华海清科类似，华卓精科也是依托于清华大学的技术积累，并通过“产学研用”模式，将学术成果转化为商用化产品，填补了我国光刻机工件台这一半导体核心部件的空白。

因此，华卓精科如果能够上市成功，对我国光刻机的国产替代有着积极意义。但同时，华卓精科的产品业务较多，部分产品尚未规模化量产，能否在这些已经比较成熟的行业获得成功仍需观望。

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