美光科技正测试默克低 GWP 替代性蚀刻气体,以验证其制程性能

2022-08-08 14:54爱集微 (王云朗)

集微网消息,据台媒《经济日报》报道,默克公司今(8)日宣布与美光科技合作开发用于半导体工艺、能降低全球变暖趋势的气体解决方案。

默克表示,经过一年的持续合作,美光科技目前正在测试默克研发部门提供的低 GWP 替代性蚀刻气体,以验证其制程性能,从而取代传统的高 GWP 材料,目标在半导体制程中导入全新且更具可持续性的气体解决方案。两家公司皆致力于发掘有助实现永续发展目标的新颖材料,以取代现行应用于干蚀刻与光罩清洗制程的多种高暖化潜势的蚀刻气体。

美光科技副总裁 John Whitman 表示,为达成在 2030 年减少 42% 的全球运营所造成的碳排放(相较于 2020 年)这一目标,美光科技投入于投资先进的减排系统、优先使用全球暖化潜势较低的气体、外购节能设备、以可再生能源石化取代能源等方面。

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