据《电子时报》消息,台积电已在中国台湾南部科技园获得了30公顷土地,开始建设3nm工艺晶圆厂,预计在2023年开始大规模生产3nm制程的处理器。
台积电将于2020年开始建设3nm工艺的生产设施,为新厂奠定技术基础。3nm半导体节点工艺预计将是台积电在EUV光刻技术上的第三次尝试,台积电的7nm +和5nm节点同样都是基于EUV技术。
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