另外,ASML也带来了其整体光刻解决方案,包括先进控制能力的光刻机台计算光刻和测量通过建模、仿真、分析等技术,让边缘定位精度不断提高。
光刻机(Mask Aligner) 又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
IT之家获悉,作为全球芯片光刻技术的领导者,本次ASML(阿斯麦)以“光刻未来,携手同行”为主题亮相第三届进博会技术装备展区。时间是2020年11月5日至10日,位于技术装备展区3C6-002。
亮点如下:
ASML 整体光刻解决方案,全方位保驾护航芯片生产的良率和产能。
光刻机模型近距离接触,带你领略光刻的神奇。
广告声明:文内含有的对外跳转链接(包括不限于超链接、二维码、口令等形式),用于传递更多信息,节省甄选时间,结果仅供参考,IT之家所有文章均包含本声明。