璞璘
成本仅 DUV 光刻 1/10:璞璘气压式纳米压印设备量产 8" 光芯片晶圆
06月05日
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璞璘交付中国首台半导体级步进纳米压印光刻机,支持<10nm 线宽
2025.08.05
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