打破国外垄断,科翰龙自研晶圆打码机 WM-SC800R 正式通过验收

2021-08-31 16:09爱集微 (西农落)

近日,科翰龙自主研发的晶圆打码机 WM-SC800R 通过验收。

北京亦庄消息显示,这是国内首台通过 FAB 厂(通常指半导体工厂)验收的具有自主知识产权的晶圆 (Wafer) ID 打码设备。

图片来源:北京亦庄

据介绍,两年前,WM-SC800R 就在 FAB 厂的 8 英寸集成电路晶圆生产线上进行晶圆 (Wafer) ID 软打码测试及试生产。检测结果优良,该晶圆打码机所加工的晶圆 (Wafer) ID 码完全达到了 SEMI (半导体设备与材料的国际性组织) 标准的要求,达到了用户关于软打码颗粒数的要求,完全达到了 ISO 1 级环境下的要求。

经过两年的测验,今年 8 月,晶圆打码机 WM-SC800R 终于正式通过验收。

科翰龙副总经理王向阳表示,为了打破国外公司在相关领域的长期垄断,科翰龙利用自己的技术优势研发了晶圆 (Wafer) ID 打码设备。WM-SC800R 在激光器的选用、光路的设计、晶圆定位的方法、设备结构设计以及设备的整体控制及软件编程上都是自主设计开发的,具有完全的自主知识产权。

科翰龙官网显示,该公司致力于精密加工、激光加工及自动化技术在半导体微电子行业的应用,主要开发和制造三类产品:晶圆激光打码设备、晶圆倒角边抛设备、单片湿式工艺设备。

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